ვაკუუმური საფარის მანქანის მუშაობის პრინციპი

ვაკუუმური საფარის მანქანა არის მოწყობილობა, რომელიც ათავსებს ლითონის თხელ ფილმებს სუბსტრატის ზედაპირზე. მისი მუშაობის ძირითადი პრინციპი დაყოფილია სამ ეტაპად: გაწმენდა, აორთქლება და დეპონირება.
1. დასუფთავება
აორთქლებამდე დეპონირებამდე, აორთქლების კამერა უნდა გაიწმინდოს. იმის გამო, რომ აორთქლების კამერის ზედაპირზე შეიძლება იყოს ოქსიდები, ცხიმი, მტვერი და სხვა ნივთიერებები, ეს გავლენას მოახდენს ფილმის ხარისხზე. დასუფთავება ჩვეულებრივ იყენებს ქიმიურ ან ფიზიკურ მეთოდებს.
2. აორთქლება
სასურველი მასალა თბება მისი დნობის წერტილის ზემოთ ისე, რომ იქმნება აირისებრი მოლეკულები. აირისებრი მოლეკულები შემდეგ გადის ვაკუუმში აორთქლების კამერაში. ამ პროცესს აორთქლება ეწოდება. ტემპერატურა, წნევა და აორთქლების სიჩქარე გავლენას ახდენს ფილმის შემადგენლობაზე, სტრუქტურასა და თვისებებზე.
3. დეპონირება
აორთქლების პალატაში მასალის აირისებრი მოლეკულები შედიან რეაქციის პალატაში ვაკუუმური მილის მეშვეობით, რეაგირებენ აქტიურ მასალასთან და შემდეგ ათავსებენ პროდუქტს სუბსტრატის ზედაპირზე. ამ პროცესს დანალექი ეწოდება. ტემპერატურა, წნევა და დეპონირების სიჩქარე ასევე გავლენას ახდენს ფილმის ხარისხსა და შესრულებაზე.
2. განაცხადი
ვაკუუმური საფარის მანქანები ფართოდ გამოიყენება მასალების მეცნიერებაში, ოპტიკაში, ელექტრონიკაში და სხვა სფეროებში.
1. მასალების მეცნიერება
ვაკუუმური საფარის მანქანებს შეუძლიათ მოამზადონ სხვადასხვა ლითონების, შენადნობების, ოქსიდების, სილიკატების და სხვა მასალების თხელი ფირები და ფართოდ გამოიყენება საფარებში, ოპტიკურ ფილმებში, ოპტიკურ საცავებში, დისპლეებში, ტრანზისტორებში და სხვა სფეროებში.
2. ოპტიკა
ვაკუუმური საფარის მანქანას შეუძლია მოამზადოს ლითონის და შენადნობის ფილმები მაღალი არეკვლისა და ოპტიკური ფილმები სპეციალური ფუნქციებით. ამ ფილმების გამოყენება შესაძლებელია მზის პანელებში, მაღალი ხარისხის ელექტრონულ მიკროსკოპებში, აეროგელებში, UV/IR სენსორებში, ოპტიკურ ფილტრებში და სხვა სფეროებში.
3. ელექტრონიკა
ვაკუუმური საფარის მანქანებს შეუძლიათ მოამზადონ ნანომასშტაბიანი ელექტრონული მასალები და მიკროელექტრონული მოწყობილობები. ეს ფილმები შეიძლება გამოყენებულ იქნას ნანოტრანსისტორებში, მაგნიტურ მეხსიერებაში, სენსორებში და სხვა ველებში.
მოკლედ, ვაკუუმური საფარის მანქანას შეუძლია არა მხოლოდ მოამზადოს სხვადასხვა თხელი ფირის მასალები, არამედ მოამზადოს თხელი ფირები სპეციალური ფუნქციებით საჭიროებისამებრ. მომავალში ვაკუუმური საფარის ტექნოლოგია უფრო ფართოდ იქნება გამოყენებული და პოპულარიზაცია.